紫外激光打標(biāo)機(jī)可以對(duì)金屬、塑料、玻璃等非金屬材料進(jìn)行標(biāo)記或切割加工, 應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子電器外殼、汽車零配件打標(biāo)、玻璃加工、醫(yī)療器材以及工程塑料 標(biāo)識(shí)等領(lǐng)域。
紫外激光打標(biāo)機(jī)的核心部件是紫外激光器,它在激光加工方面有其獨(dú)特的優(yōu)勢:紫外激光器的波長短,聚焦小,能實(shí)現(xiàn)精細(xì)加工;紫外激光器進(jìn)行激光加工時(shí)直接破壞材料的化學(xué)鍵,是“ 冷”處理過程,熱影響區(qū)小,大多數(shù)材料能有效地吸收紫外光,可加工許多紅外和可見光激光器加工不了的材料。全固態(tài)紫外激光器具有體積小、效率高、重復(fù)頻率高、無需更換氣體、無需掩模、易維護(hù)等優(yōu)點(diǎn)。因此它在生物工程、材料制備、全光光學(xué)器件制作、特別是集成電路板及半導(dǎo)體工業(yè)等激光加工領(lǐng)域獲得了廣泛的應(yīng)用。
目前紫外激光器的發(fā)展非常迅速,并逐漸顯露出它的先天優(yōu)勢。瓦級(jí)功率以上高重頻全固態(tài)激光器不斷應(yīng)用于加工領(lǐng)域,國內(nèi)外研究機(jī)構(gòu)和公司不斷向更高功率(數(shù)十瓦級(jí))、更高重頻(幾十甚至幾百kHz)方向發(fā)展。目前我們已經(jīng)研制成功了5W 、50kHz的紫外355nm激光器,脈寬25ns的成品機(jī)。而且,10W、30W的樣機(jī)性能穩(wěn)定,用于LED藍(lán)寶石晶圓裂片劃線,劃線深度達(dá)到200μm,線寬小于10μm,劃痕光滑均勻,幾乎無熱影響區(qū)。
紫外355nm激光器目前中大功率全固態(tài)紫外激光器市場均被國外廠商占據(jù)。主要應(yīng)用于打孔、切割、劃線和打標(biāo)。以激光劃片機(jī)為例,按目前市場需求量估算,一般傳統(tǒng)激光劃片機(jī)銷量為100臺(tái)/年,其中60%將被紫外全固態(tài)激光器所替代;激光打標(biāo)機(jī)國內(nèi)年需求量約4000臺(tái),其中全固態(tài)紫外激光器將取代30%的市場份額。
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