CO2 激光器由 C. Kumar N.Patel 于 1964 年在貝爾實驗室發(fā)明，其在日新月異的光電行業(yè)中堪稱一項古老的技術(shù)。盡管出現(xiàn)的時間較長，但是 CO2 激光技術(shù)憑借著其獨特的波長、功率和光譜純度，依然在市場上生存并繼續(xù)繁榮。
因為很多天然材料和合成材料在9~12μm 具有很強的吸收峰，而這恰好是 CO2 激光器的輸出波長所處的波段，這為 CO2 激光器在材料加工和光譜分析領(lǐng)域提供了大量機會。這個波段也包含在大氣傳輸窗口內(nèi)，因此也是很多傳感和測距應(yīng)用的理想選擇（見圖 1）。
典型的 CO2 激光器由含有 CO2分子的混合氣體產(chǎn)生氣體放電而形成。因為分子振動和轉(zhuǎn)動的能級非常接近，CO2 分子在這些能級之間躍遷產(chǎn)生的光子與可見光和近紅外光相比，能量更低，波長更長。
圖1：圖（a）顯示了CO2激光器的光譜在電磁波譜線的紅框范圍內(nèi)，
是常用的大氣傳輸窗口；圖（b）顯示了9個不同的CO2同位素的頻率和波長范圍。
CO2 激光器可以提供從毫瓦到上萬瓦的功率范圍，可用于制造儀器設(shè)備，也可以用于強力切割。因為 CO2激光器有很高光譜純度，線寬可達1kHz 以下而不必犧牲功率，轉(zhuǎn)換效率可達 10%。這些特點使得 CO2 激光器能夠勝任材料加工領(lǐng)域的新應(yīng)用、激光測距和雷達、熱像視覺輔助及靶向醫(yī)療等應(yīng)用。
自被發(fā)明幾十年來，已經(jīng)有無數(shù)CO2 激光器應(yīng)用到醫(yī)療、制造及科研領(lǐng)域，從中國高速礦泉水瓶生產(chǎn)線上的 4 位數(shù)字碼打印，到德國的奔馳汽車零件焊接。即使在今天光纖激光器正在侵蝕著 CO2 激光器的大量市場、以及量子級聯(lián)激光器不斷開創(chuàng)新領(lǐng)域的情況下，如果 CO2 激光器向著專用領(lǐng)域發(fā)展，其仍然會在市場上贏得廣泛應(yīng)用。
挑戰(zhàn)競爭
盡管擁有這些長期優(yōu)勢，但是 CO2 激光器已經(jīng)在一些方面遭遇挑戰(zhàn)。光纖激光器和量子級聯(lián)激光器已經(jīng)擴展到了很多之前由 CO2 激光器主導(dǎo)的應(yīng)用領(lǐng)域。
在工業(yè)應(yīng)用中，高功率光纖激光器能提供更高的效率、其能量能被金屬材料更好地吸收，并且更加具有成本優(yōu)勢。然而，CO2 激光器仍然是加工很多非金屬材料的唯一方式，因為這些材料不能吸收光纖激光器的近紅外波長。
量子級聯(lián)激光器能產(chǎn)生 2~12μm范圍的波長，并且體積更加緊湊，已成為光譜學(xué)應(yīng)用中的一個重要工具。然而，許多位于 8~12μm 長波紅外波段的傳感、光譜敏感的工業(yè)和醫(yī)療應(yīng)用，需要更高的功率、更好的光譜純度、極好的相干性和穩(wěn)定的空間模式，這些只有 CO2 激光器可以實現(xiàn)。
除了技術(shù)上的挑戰(zhàn)，中國不斷擴張的激光產(chǎn)業(yè)也導(dǎo)致價格越來越低。標準的 CO2 激光器正迅速商品化，進入門檻和利潤都急速下降。三年前，中國公司購買美國制造的 30W CO2激光器需要 4500 美元 ；而現(xiàn)在，國產(chǎn) CO2 激光器進入市場，將價格拉低到 2000 美元。
這些因素標志著“按瓦論價”的時代已經(jīng)結(jié)束 ；在按瓦論價的時代，公司生產(chǎn)特定平均功率、能適用多個領(lǐng)域的激光器，價格與瓦數(shù)成正比。采用這種策略，一些高度成功的公司如 Synrad、Coherent 和 Rofin等公司，能提供功率從幾瓦到上萬瓦的 CO2 激光器系列，這也使得 CO2 激光器在塑料加工廠、牙科診所、手機裝配線等領(lǐng)域獲得了廣泛應(yīng)用。
盡管 CO2 激光器作為“對所有用途一刀切解決方案”的競爭方式已經(jīng)結(jié)束，但是隨著新材料加工的涌現(xiàn)，以及日益嚴格的工業(yè)和科研加工要求，這些均需要新的專用激光器，需要對激光器真正的價值主張有更深的技術(shù)理解，需要一種完全不同的方式制造并推廣 CO2 激光器。CO2 激光器正在應(yīng)對這些新的挑戰(zhàn)。
在制造方面，這種新的模式需要調(diào)整 CO2 激光器的各種指標，密切配合客戶的特定需求。在市場方面，從之前的平均功率和“按瓦論價”的價值主張，轉(zhuǎn)變?yōu)榭蛻舳ㄖ苹鉀Q方案，根據(jù)特定的材料和應(yīng)用需要，設(shè)計激光器的脈沖形狀、峰值功率、專用波長和工作穩(wěn)定性。
極紫外光刻
在嘗試拓展摩爾定律時，CO2 激光器被認為是通過激光生成等離子體（LPP）產(chǎn)生極紫外（EUV）輻射的最佳工具。這種 13.5nm 的 EUV 光是通過蒸發(fā)錫的熔融液滴產(chǎn)生的。針對這項應(yīng)用也測試了 Nd:YAG 等其他激光器，結(jié)果表明它們在產(chǎn)生更高速、高質(zhì)量等離子體屬性的光學(xué)薄羽流方面，效率更低，這是因為錫對 CO2 激光器照射具有更高的反射率。
為了產(chǎn)生 EUV 光，CO2 激光器需要提供一連串波長 10.6μm、光學(xué)質(zhì)量近乎完美、高速且完全相同的脈沖，具有半導(dǎo)體行業(yè)所要求的清潔度、精確度和可重復(fù)性。
為了滿足這些嚴格的要求，用于EUV 的 CO2 激光器從原材料處理到最終測試（見圖 2）的所有工序，都完全在 ISO Class 7 級別的潔凈室內(nèi)進行。每臺激光器都通過 12 小時的連續(xù)開機測試，完全符合測試規(guī)格，因為任何偏差都可能導(dǎo)致數(shù)千枚半導(dǎo)體芯片的失敗。
圖2：用于產(chǎn)生EUV光的CO2激光器，正在一座現(xiàn)代化制造工廠中接受嚴格測試。
糾正LIGO光學(xué)元件畸變
在與激光干涉引力波天文臺（LIGO）引力波探測機構(gòu)長達十幾年的項目合作中，我們提供了關(guān)鍵技術(shù)來協(xié)助驗證引力波的存在。雖然愛因斯坦在很早之前就已經(jīng)預(yù)測了引力波的存在，但它們的理論信號太小，以至于他懷疑是否能建立具備足夠高靈敏度的裝置，進而探測到如此微小的宇宙雜音。
LIGO 的科學(xué)家遇到了一個非常特殊的問題。任何光子被干涉儀光學(xué)器件吸收，即便是三百三十萬分之一，都會使光學(xué)元件畸變，并且產(chǎn)生的熱噪聲足以覆蓋他們需要探測的信號。雖然LIGO 設(shè)計的光學(xué)器件已經(jīng)考慮到了熱畸變因素，但在探測時，他們需要實時的微調(diào)來匹配主光束的功率和每個光學(xué)器件的個體差異。
CO2 激光器是微調(diào)光學(xué)元件的合理方案，因為其光束可以被 LIGO 光學(xué)元件高度吸收，并且能提供很高的光譜純度和功率穩(wěn)定性。如果沒有這些，他們的測量系統(tǒng)會增加很多噪聲。
為滿足 LIGO 精確的專用需求，我們開發(fā)了單波長穩(wěn)定的CO2 激光器，適用于實時自適應(yīng)系統(tǒng)中的精密控制回路，可以精確補償主工作光束熱效應(yīng)造成的光學(xué)元件畸變（見圖 3）。當熱畸變補償不足時，CO2 激光器光束整形為環(huán)狀提供額外補償（過熱糾正）；當補償過度時， CO2 激光器光束整形為在光學(xué)元件中心像盤子樣的圓斑，來削弱補償（欠熱糾正）。
圖3：CO2激光器在LIGO設(shè)備中用于糾正光學(xué)畸變。
牙科手術(shù)
最近，科學(xué)家發(fā)現(xiàn)人類硬組織（骨頭和牙齒）對 9.3~9.6μm的光具有很強的吸收能力（見圖 4）。研究表明，CO2 激光器是唯一能適用于口腔硬組織和軟組織處理、并且還能預(yù)防齲齒的激光器。
圖4：牙釉質(zhì)紅外透射譜線顯示在9.6μm處有強吸收，這與CO2激光器的譜線重疊。
雖然其他波長，如2.94μm 也能處理軟組織和硬組織，但是只有CO2 激光器能在 9.3μm 和 9.6μm 波長提供額外的齲齒預(yù)防和清除功能。加州大學(xué)舊金山分校牙科學(xué)院院長John Featherstone 教授，將這一發(fā)現(xiàn)稱為激光牙科新時代的曙光。
脈沖能量幾毫焦、脈沖寬度5~20μs 且能數(shù)千小時可靠運行的 CO2激光器，非常適合醫(yī)療點牙科手術(shù)和牙科治療。雖然這項技術(shù)還遠未被大規(guī)模采用，但是基于 9.3μm 脈沖 CO2激光器的商業(yè)牙科設(shè)備，現(xiàn)在已經(jīng)上市用于牙科硬組織和軟組織治療。
加工新材料
隨著制造業(yè)繼續(xù)向全過程自動化發(fā)展的全球趨勢，激光器正在改變一些傳統(tǒng)加工方式的價值主張，如包裝行業(yè)中材料的刀切和沖壓。亞馬遜等一些公司，正在驅(qū)動一場從“傳統(tǒng)的固定尺寸的紙箱包裝方式”到柔性包裝的變革。所謂柔性包裝，即使用新型塑料材料，并且現(xiàn)場創(chuàng)建，能完全符合特定貨物的需求。
這種新型柔性包裝重量更輕，并能安全地生物降解，既降低了運輸和包裝的成本，又減少了對環(huán)境的污染，這是亞馬遜未來重要的績效指標。這種轉(zhuǎn)變能夠?qū)崿F(xiàn)，是因為激光與刀具不同，它們不會變鈍，并且能提供遠超過機械系統(tǒng)的可重復(fù)性和精確性。
新型多層塑料在 CO2 光譜范圍內(nèi)某個特殊譜線處，具有很強的吸收峰，或者在切割過程中，塑料層一層層移動時，要求激光器的波長能隨之變化。代替大型切割系統(tǒng)需要一個激光器陣列來實現(xiàn)消融，且?guī)缀醪划a(chǎn)生熱影響區(qū)，同時能以每秒移動數(shù)百英尺來切割很大的幅面。滿足這種特殊應(yīng)用的激光器，需要在單個譜線上具有很高精度，峰值功率與平均功率比值大于 100:1 甚至更高，而且脈沖頻率非常高（>10kHz）。
傳統(tǒng)上，如此高的峰值功率和重復(fù)頻率需要 Q 開關(guān)或其他外在調(diào)制技術(shù)，這對要求成本效益的包裝行業(yè)大規(guī)模部署而言，過于昂貴。相比之下，我們正在開發(fā)的 CO2 激光器體積小巧，無需外部調(diào)制就能獲得上千瓦的峰值功率，能很好地滿足包裝行業(yè)的需求。實際上，制造、醫(yī)療和材料科學(xué)領(lǐng)域的最新趨勢，都在推動 CO2激光器從過去半個世紀以來的“按瓦論價”的價值主張，演進到“以客戶為中心、量身定制”的新時代。
